| 순번 | 보유기관명 | 장비명 | 제조업체 | 모델명 | 담당자(전화) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 나노종합기술원 | E-Beam Lithography System 1 | ELIONIX Inc. | ELS-7000 | 한창희 (042-366-1533) |
| 2 | 나노종합기술원 | E-Beam Lithography System 2 | JEOL Ltd. | JBX-9300FS | 김기남 (042-366-1535) |
| 3 | 나노종합기술원 | Nano Imprint System | Molecular Inprints Inc. | Imprio-100™ | 한창희 (042-366-1533) |
| 4 | 나노종합기술원 | KrF Scanner | Nikon Inc. | S203-B | 김광희 (042-366-1536) |
| 5 | 나노종합기술원 | Track System 1 | DNS KOREA CO., LTD | K-Spin8 | 김광희 (042-366-1536) |
| 6 | 나노종합기술원 | CD-SEM 1 | Hitachi High-Technologies Corporation | S-9260A | 이동욱 (042-366-1532) |
| 7 | 나노종합기술원 | Overlay Measurement System | KLA-Tencor Corporation | ARCHER-10XT | 이동욱 (042-366-1532) |
| 8 | 나노종합기술원 | Particle Counter | KLA-Tencor Corporation | Surfscan SP-1 Classic | 한창희 (042-366-1533) |
| 9 | 나노종합기술원 | Oven | NYMTECH Co., Ltd. | NYM-FUR-200 | 김기남 (042-366-1535) |
| 10 | 나노종합기술원 | Optical Microscope | Carl Zeiss Co., Ltd. | Axioskop2 MAT | 한창희 (042-366-1533) |
| 11 | 나노종합기술원 | Track | KDNS(OFT) | MS-211 | 한창희 (042-366-1533) |
| 12 | 나노종합기술원 | DUV Step-and-Scan System(ASML KrF Scanner) | ASML | PAS5500/700D | 이동욱 (042-366-1532) |
| 13 | 나노종합기술원 | Advanced CD-Measurement SEM | Hitachi High Technologies Corporation | S-8820 | 이동욱 (042-366-1532) |
| 14 | 나노종합기술원 | Track System 2 | TEL(Tokyo Electron Limited) | MK-8 | 한창희 (042-366-1533) |
| 15 | 나노종합기술원 | I-Line Step and Repeat System (I-Line Stepper) | Nikon | NSR-2205i11D | 김광희 (042-366-1536) |
| 16 | 나노종합기술원 | Track System 3 | TEL(Tokyo Electron Limited) | ACT-8 | 이동욱 (042-366-1532) |
| 17 | 나노종합기술원 | Poly Etcher | Lam Research | TCP-9400DFM | 유동은 (042-366-1531) |
| 18 | 나노종합기술원 | Deep Si Etcher | Alcatel | AMS 200 | 노길선 (042-366-1537) |
| 19 | 나노종합기술원 | Dielectric Etcher 1 | Lam Research | EXELAN-HPT | 유동은 (042-366-1531) |
| 20 | 나노종합기술원 | Metal Etcher 1 | Lam Research | TCP-9600DFM | 서창호 (042-366-1534) |
