| 순번 | 보유기관명 | 장비명 | 제조업체 | 모델명 | 담당자(전화) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 나노종합기술원 | E-Beam Lithography System 1 | ELIONIX Inc. | ELS-7000 | 한창희 (042-366-1533) |
| 2 | 나노종합기술원 | E-Beam Lithography System 2 | JEOL Ltd. | JBX-9300FS | 김기남 (042-366-1535) |
| 3 | 나노종합기술원 | Nano Imprint System | Molecular Inprints Inc. | Imprio-100™ | 한창희 (042-366-1533) |
| 4 | 나노종합기술원 | KrF Scanner | Nikon Inc. | S203-B | 김광희 (042-366-1536) |
| 5 | 나노종합기술원 | Track System 1 | DNS KOREA CO., LTD | K-Spin8 | 김광희 (042-366-1536) |
| 6 | 나노종합기술원 | CD-SEM 1 | Hitachi High-Technologies Corporation | S-9260A | 이동욱 (042-366-1532) |
| 7 | 나노종합기술원 | Overlay Measurement System | KLA-Tencor Corporation | ARCHER-10XT | 이동욱 (042-366-1532) |
| 8 | 나노종합기술원 | Particle Counter | KLA-Tencor Corporation | Surfscan SP-1 Classic | 한창희 (042-366-1533) |
| 9 | 나노종합기술원 | Oven | NYMTECH Co., Ltd. | NYM-FUR-200 | 김기남 (042-366-1535) |
| 10 | 나노종합기술원 | Optical Microscope | Carl Zeiss Co., Ltd. | Axioskop2 MAT | 한창희 (042-366-1533) |
| 11 | 나노종합기술원 | Track | KDNS(OFT) | MS-211 | 한창희 (042-366-1533) |
| 12 | 나노종합기술원 | DUV Step-and-Scan System(ASML KrF Scanner) | ASML | PAS5500/700D | 이동욱 (042-366-1532) |
| 13 | 나노종합기술원 | Advanced CD-Measurement SEM | Hitachi High Technologies Corporation | S-8820 | 이동욱 (042-366-1532) |
| 14 | 나노종합기술원 | Track System 2 | TEL(Tokyo Electron Limited) | MK-8 | 한창희 (042-366-1533) |
| 15 | 나노종합기술원 | I-Line Step and Repeat System (I-Line Stepper) | Nikon | NSR-2205i11D | 김광희 (042-366-1536) |
| 16 | 나노종합기술원 | Track System 3 | TEL(Tokyo Electron Limited) | ACT-8 | 이동욱 (042-366-1532) |
| 17 | 나노종합기술원 | Poly Etcher | Lam Research | TCP-9400DFM | 유동은 (042-366-1531) |
| 18 | 나노종합기술원 | Deep Si Etcher | Alcatel | AMS 200 | 노길선 (042-366-1537) |
| 19 | 나노종합기술원 | Dielectric Etcher 1 | Lam Research | EXELAN-HPT | 유동은 (042-366-1531) |
| 20 | 나노종합기술원 | Metal Etcher 1 | Lam Research | TCP-9600DFM | 서창호 (042-366-1534) |
| 21 | 나노종합기술원 | Tungsten Etcher | Lam Research | TCP-9600PTX | 서창호 (042-366-1534) |
| 22 | 나노종합기술원 | PR Stripper 1 | PSK | DAS-2000 | 유동은 (042-366-1531) |
| 23 | 나노종합기술원 | Dielectric Etcher 2 | AMAT | P-5000 | 노길선 (042-366-1537) |
| 24 | 나노종합기술원 | Metal Etcher 2 | AMAT | P-5000 | 노길선 (042-366-1537) |
| 25 | 나노종합기술원 | Oxide Dry Etcher | TEL(Tokyo Electron Limited) | SCCM | 유동은 (042-366-1531) |
| 26 | 나노종합기술원 | High Current Implantation | Varian | VIISTA80HP | 홍대원 (042-366-1561) |
| 27 | 나노종합기술원 | High Energy Implantation | Excelis | GSD/HE | 홍대원 (042-366-1561) |
| 28 | 나노종합기술원 | CMP 1 | DOOSAN DND | UNIPLA™ 231 | 이기성 (042-366-1568) |
| 29 | 나노종합기술원 | Furnace 1 (LP-CVD) | Centrotherm | E1200 | 황해철 (042-366-1564) |
| 30 | 나노종합기술원 | Furnace 2 (Oxidation & Anneal) | Centrotherm | E1200 | 황해철 (042-366-1564) |
| 31 | 나노종합기술원 | ALD | IPS | Nano-ALD2000 | 심갑섭 (042-366-1563) |
| 32 | 나노종합기술원 | RTP | NYMTECH | RTA200H-SP1 | 홍대원 (042-366-1561) |
| 33 | 나노종합기술원 | Metal RTP | Metron | AG Heatpulse 8800 | 홍대원 (042-366-1561) |
| 34 | 나노종합기술원 | Cu CMP / Cu Barrier Metal CMP | Doosan Mecha Tech | UNIPLA 231 | 이기성 (042-366-1568) |
| 35 | 나노종합기술원 | Wet Clean | HIT | NXWET | 이기성 (042-366-1568) |
| 36 | 나노종합기술원 | Wet Bench | GSI | GMW-05 | 이기성 (042-366-1568) |
| 37 | 나노종합기술원 | Sputter | AMAT | ENDURA-5500 | 심갑섭 (042-366-1563) |
| 38 | 나노종합기술원 | HDP/PECVD | Novellus | SPEED/Concept Two SEQUEL | 박상현 (042-366-1566) |
| 39 | 나노종합기술원 | HDP/CNT | Jusung | TRUFIL II/EUREKA-2000 | 박상현 (042-366-1566) |
| 40 | 나노종합기술원 | PE-TEOS | AMAT | P-5000 | 박상현 (042-366-1566) |
| 41 | 나노종합기술원 | BPSG | AMAT | P-5000 | 박상현 (042-366-1566) |
| 42 | 나노종합기술원 | CVD W | AMAT | P-5000 Wxz | 강민호 (042-366-1664) |
| 43 | 나노종합기술원 | Ion Shower Doping | Samhan Vaccum | SHIP-4T-220D | 황해철 (042-366-1564) |
| 44 | 나노종합기술원 | E-Beam Evaporator | Korea Vacuum | KVET-C500200 | 심갑섭 (042-366-1563) |
| 45 | 나노종합기술원 | Multi Target Sputter | SORONA | SRN-110 | 강민호 (042-366-1664) |
| 46 | 나노종합기술원 | Electroplating | Sambang ENG | EP-2000 | 강희오 (042-366-1562) |
| 47 | 나노종합기술원 | CMP 2 | Doosan DND | UNIPLA211 | 이기성 (042-366-1568) |
| 48 | 나노종합기술원 | Critical Point Dryer | Tousimis | Automegasamdri-916B, Series C | 김경민 (042-366-1666) |
| 49 | 나노종합기술원 | Wet Clean/Bench/Station | HIT | HWB-MCP8 | 이기성 (042-366-1568) |
| 50 | 나노종합기술원 | Dicing Machine | DISCO Co. | DAD3350 | 강희오 (042-366-1562) |
| 51 | 나노종합기술원 | Screen Printer | DEK | EUROPA | 강희오 (042-366-1562) |
| 52 | 나노종합기술원 | Polymer Etcher | Unaxis | VL-ICP | 서창호 (042-366-1534) |
| 53 | 나노종합기술원 | Reflow | Speedline Technologies | Bravo8105 | 강희오 (042-366-1562) |
| 54 | 나노종합기술원 | PR Stripper 2 | PSK | TS-200 | 서창호 (042-366-1534) |
| 55 | 나노종합기술원 | Nano Second Laser | Exitech Ltd. | MicrAblater M2000E/Y | 강희오 (042-366-1562) |
| 56 | 나노종합기술원 | Metal Dry Etcher | Oxford | ICP380 | 서창호 (042-366-1534) |
| 57 | 나노종합기술원 | Contact (Mask) Aligner | EV Group | EVG6400 | 김기남 (042-366-1535) |
| 58 | 나노종합기술원 | Fusion Bonder/Hot Embossing | EV Group | EVG520HE | 김기남 (042-366-1535) |
| 59 | 나노종합기술원 | Spray Coater | EV Group | EVG101 | 김기남 (042-366-1535) |
| 60 | 나노종합기술원 | Furnace 3 | Centrotherm | E1200 | 황해철 (042-366-1564) |
| 61 | 나노종합기술원 | Low Stress PECVD | Unaxis | SLR-730 | 박상현 (042-366-1566) |
| 62 | 나노종합기술원 | SPR | Biacore AB | Biacore3000 | 이문근 (042-366-1632) |
| 63 | 나노종합기술원 | Confocal Microscope | Carl Zeiss | LSM510-Meta NLO | 이문근 (042-366-1632) |
| 64 | 나노종합기술원 | Microarray Scanner | Axon | Genepix4200A | 이문근 (042-366-1632) |
| 65 | 나노종합기술원 | Microarrayer 1 | GenomicSolutions | OMNIGRID ACCENT | 이문근 (042-366-1632) |
| 66 | 나노종합기술원 | Micro Forge | Nikon | MF-900 | 이문근 (042-366-1632) |
| 67 | 나노종합기술원 | Micro Pipette Puller | Sutter Instrument Co. | P-2000F | 이문근 (042-366-1632) |
| 68 | 나노종합기술원 | Polymer CVD | Specialty Coating Systems | PDS2010 | 배남호 (042-366-1634) |
| 69 | 나노종합기술원 | Microarrayer 2 | Nima Technology Ltd. | PIEZORRAY | 이문근 (042-366-1632) |
| 70 | 나노종합기술원 | Plastic Micro Injection Mold | Arburg GmbH + CO KG | A270C400-100 | 이태재 (042-366-1633) |
| 71 | 나노종합기술원 | LB Through | Nima Technology Ltd. | 1232D1_Shuttle | 안치원 (042-366-1731) |
| 72 | 나노종합기술원 | Chip Aligner | Dr.Tresky AG | T-3200 | 배남호 (042-366-1634) |
| 73 | 나노종합기술원 | Contact Angle Analyzer | SEO Co., Ltd. | Phoenix 300 Plus | 이문근 (042-366-1632) |
| 74 | 나노종합기술원 | Nano Cluster & Generator | Mantis Deposition Ltd. | NanoSys500 | 안치원 (042-366-1731) |
| 75 | 나노종합기술원 | Chemical Vapor Condensation | Digiwave Tech | DTC-2000A | 안치원 (042-366-1731) |
| 76 | 나노종합기술원 | High T/P Multiple Reactor | Parr Instrument Co. | Mo.5000 | 안치원 (042-366-1731) |
| 77 | 나노종합기술원 | Small Media Mill | Union Process Inc. | DMQ-05 | 안치원 (042-366-1731) |
| 78 | 나노종합기술원 | Particle Size Analyzer | Malvern | Zetasizer nano zs | 안치원 (042-366-1731) |
| 79 | 나노종합기술원 | Glove Box | M. Braun | MB150-B-G-II | 안치원 (042-366-1731) |
| 80 | 나노종합기술원 | Vacuum Oven | Jeio Tech Co., Ltd. | OV-12 | 안치원 (042-366-1731) |
| 81 | 나노종합기술원 | BET Surface Area Analyzer | Micromeritics | ASAP 2020 M+C | 안치원 (042-366-1731) |
| 82 | 나노종합기술원 | Cs-Corrected Scanning Transmission Electron Microscopy | JEOL | JEM-ARM200F | 박윤창 (042-366-1705) |
| 83 | 나노종합기술원 | FE-TEM 1 | FEI | Tecnai G² F30 S-TWIN | 박윤창 (042-366-1705) |
| 84 | 나노종합기술원 | In-Situ TEM | JEOL | JEM-3011 HR | 유정호 (042-366-1703) |
| 85 | 나노종합기술원 | FE-TEM 2 | JEOL | JEM-2100F HR | 유정호 (042-366-1703) |
| 86 | 나노종합기술원 | Ion Milling System | Gatan | PIPS™ | 유정호 (042-366-1703) |
| 87 | 나노종합기술원 | Precision Etching Coating System | Gatan | PECS™ | 유정호 (042-366-1703) |
| 88 | 나노종합기술원 | FE-STEM | Hitachi | HD-2300A | 박경진 (042-366-1709) |
| 89 | 나노종합기술원 | Dual Beam FIB system 1 | FEI | Helios NanoLab™ | 박경진 (042-366-1709) |
| 90 | 나노종합기술원 | Single Beam FIB System | Hitachi | FB-2100 | 박경진 (042-366-1709) |
| 91 | 나노종합기술원 | Dual Beam FIB System 2 | FEI | Nova 200 | 박경진 (042-366-1709) |
| 92 | 나노종합기술원 | FE-SEM with EDS | FEI | Sirion | 현문섭 (042-366-1706) |
| 93 | 나노종합기술원 | FE-SEM | Hitachi | S-4800 | 현문섭 (042-366-1706) |
| 94 | 나노종합기술원 | Pt Coater | Baltec | SCD005 | 현문섭 (042-366-1706) |
| 95 | 나노종합기술원 | Scanning Probe Microscope 1 | Park Systems | XE-100 | 현문섭 (042-366-1706) |
| 96 | 나노종합기술원 | Scanning Probe Microscope 2 | Veeco | Nanoman | 현문섭 (042-366-1706) |
| 97 | 나노종합기술원 | FT-IR Microscope | Bruker | IFS66v/s & Hyperion3000 | 현문섭 (042-366-1706) |
| 98 | 나노종합기술원 | NIR Imaging | Spectral dimensions | MatrixNIR | 현문섭 (042-366-1706) |
| 99 | 나노종합기술원 | Nano Indentation System | MTS | Nano Indenter XP | 현문섭 (042-366-1706) |
| 100 | 나노종합기술원 | Auto Thickness Measurement System | KLA-Tencor | SFX100 | 손우식 (042-366-1708) |
| 101 | 나노종합기술원 | Spectroscopic Ellipsometer | Woollam | M2000D | 손우식 (042-366-1708) |
| 102 | 나노종합기술원 | Spectroscopic Reflectometer | K-MAC | ST5000_Auto200 | 손우식 (042-366-1708) |
| 103 | 나노종합기술원 | Imaging Ellipsometer | Nanofilm | EP3_SE | 손우식 (042-366-1708) |
| 104 | 나노종합기술원 | Surface Profiler | Veeco | Dektak-8 | 손우식 (042-366-1708) |
| 105 | 나노종합기술원 | Optical Surface Profiler | Nano Focus | m-Surf | 손우식 (042-366-1708) |
| 106 | 나노종합기술원 | Stress Gauge | FSM | FSM500TC | 손우식 (042-366-1708) |
| 107 | 나노종합기술원 | 4-Point Probe | A.I.T. | CMT SR2000 | 손우식 (042-366-1708) |
| 108 | 나노종합기술원 | Wafer Prober & Summit | Agilent & Cascade | 4156C, 4284A & 1274B | 고진원 (042-366-1704) |
| 109 | 나노종합기술원 | Semicondutor Characterization System & Summit | Keithley & Cascade | 4200 SCS/F & 11862B | 고진원 (042-366-1704) |
| 110 | 나노종합기술원 | Process Control Monitoring System | Agilent + Accretech | 4072A + UF3000 | 고진원 (042-366-1704) |
| 111 | 나노종합기술원 | Reactive Ion Etcher | SAMCO | RIE 10NR | 고진원 (042-366-1704) |
| 112 | 나노종합기술원 | X-RAY | X-TEK SYSTEMS LTD. | REVOLUTION | 고진원 (042-366-1704) |
| 113 | 나노종합기술원 | Auto Stage Optical Microscope | Olympus | MX51L + Dotslide | 고진원 (042-366-1704) |
| 114 | 나노종합기술원 | Magnetic Sector SIMS | CAMECA | IMS 7f | 정칠성 (042-366-1702) |
| 115 | 나노종합기술원 | Cadence | Cadence Design System | Virtuoso | 김병일 (042-366-1631) |
| 116 | 나노종합기술원 | TCAD Simulator | synopsys | sentaurus | 임부택 (042-366-1607) |
| 117 | 나노종합기술원 | IC-CAP | Agilent | IC-CAP 2006 | 설우석 (042-366-1605) |
| 118 | 나노종합기술원 | ADS(Advanced Design System)or RFDE | Agilent | ADS 2005A | 설우석 (042-366-1605) |
| 119 | 나노종합기술원 | Coventor Ware | Coventor. Inc | Conventor Ware 2010 | 김태현 (042-366-1736) |
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