| 순번 | 보유기관명 | 장비명 | 제조업체 | 모델명 | 담당자(전화) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 나노융합기술원 | E-Beam Lithography System 1 | Elionix Inc. | ELS-7000 | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 2 | 나노융합기술원 | E-Beam Lithography System 2 | Elionix Inc. | ELS-7800 | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 3 | 나노융합기술원 | Laser Lithography System | Heidelberg Instruments | DWL200 | 강민재 (054-279-0228) |
| 4 | 나노융합기술원 | I-Line Stepper 1 | NIKON | NSR 2205 i10C | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 5 | 나노융합기술원 | PR Track 1 | TEL | MARK-7 | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 6 | 나노융합기술원 | EUV-IL System | VMT | EUV IL | 이원범 (054-279-0226) |
| 7 | 나노융합기술원 | EUV-IL PR Track | CND PLUS | Track | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 8 | 나노융합기술원 | E-Beam Resist Spin Coater | Sawatec Solution | LSM-250 | 강민재 (054-279-0228) |
| 9 | 나노융합기술원 | Rinse & Dryer | Sawatec Solution | ST-250 | 강민재 (054-279-0228) |
| 10 | 나노융합기술원 | Developer | Sawatec Solution | SAWATEC_Develop. | 강민재 (054-279-0228) |
| 11 | 나노융합기술원 | Pt Coater | Quorum Technologis | SC7640 | 이원범/이정익 (054-279-0226/0288) |
| 12 | 나노융합기술원 | Organic Wet Station | HIT | HWC-MCP | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 13 | 나노융합기술원 | Atomic Layer Deposition(ALD) | ㈜큐로스 | Plus 200 | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 14 | 나노융합기술원 | UHV-CVD(Ultra-High Vacuum Chemical Vapor Deposition) | 주성엔지니어링㈜ | Eureka-2000 | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 15 | 나노융합기술원 | Sputter 1 | (주)에스엔텍 | MSS5000 | 이원범 (054-279-0226) |
| 16 | 나노융합기술원 | Metal Sputter(ME) | SPS-100 | 이원범 (054-279-0226) |
|
| 17 | 나노융합기술원 | Sputter 2 | AMAT | E5500 | 이원범 (054-279-0226) |
| 18 | 나노융합기술원 | AP-CVD | Watkins Johnson | WJ-1000T | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 19 | 나노융합기술원 | LP-CVD | 유진테크 | BJM100 | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 20 | 나노융합기술원 | Furnace | 유진테크 | PMF-200 | 이원범 (054-279-0226) |
| 21 | 나노융합기술원 | PE-CVD 1 | BMR Technology Co. | HiDep-SC | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 22 | 나노융합기술원 | Sputter 3 | AMAT | E5500 | 이원범 (054-279-0226) |
| 23 | 나노융합기술원 | PE-CVD 2 | AMAT | P5000 | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 24 | 나노융합기술원 | Dry Etcher_ICP | SNTEK | ICP | 김수곤/김병욱 (054-279-0227/0284) |
| 25 | 나노융합기술원 | Dry Etcher_20nm급 | DMS | Silicon/metal hybrid etcher | 김수곤/김병욱 (054-279-0227/0284) |
| 26 | 나노융합기술원 | Dry Etcher_Oxide | LAM | Rainbow-4528 | 김수곤 (054-279-0227) |
| 27 | 나노융합기술원 | Dry Etcher_Poly Si | LAM | Rainbow-4428 | 김수곤 (054-279-0227) |
| 28 | 나노융합기술원 | PR Asher_BEOL | Fusion | 202ACU | 김수곤 (054-279-0227) |
| 29 | 나노융합기술원 | PR Asher_FEOL | PSK | DAS 2000 | 김수곤 (054-279-0227) |
| 30 | 나노융합기술원 | Dry Etcher_Metal | LAM Research | TCP 9608 | 김수곤 (054-279-0227) |
| 31 | 나노융합기술원 | Wet Station_Acid | HIT | HWC-MCP | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 32 | 나노융합기술원 | Spin Rinse Dryer | PTL Korea | 8300S | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 33 | 나노융합기술원 | Wet Station_Pre Clean 1 | DNS | WS-820L | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 34 | 나노융합기술원 | Wet Station_SPM | KAIJO | KJ-30000 | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 35 | 나노융합기술원 | Wet Station_Pre Clean 2 | SUGAI | O-19 | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 36 | 나노융합기술원 | Furnace_Low T Ann. | Kokusai | DD-803 | 이원범 (054-279-0226) |
| 37 | 나노융합기술원 | Furnace_N+ Dopant Ann. | TEL | Alpha-808S | 이원범 (054-279-0226) |
| 38 | 나노융합기술원 | Furnace_Pyro Oxidation | TEL | Alpha-808SD | 이원범 (054-279-0226) |
| 39 | 나노융합기술원 | Furnace_Poly Si | TEL | Alpha-803SC | 이원범 (054-279-0226) |
| 40 | 나노융합기술원 | Furnace_High T Anneal | TEL | Alpha-808SD | 이원범 (054-279-0226) |
| 41 | 나노융합기술원 | Furnace_Dry Oxidation | TEL | Alpha-808DN | 이원범 (054-279-0226) |
| 42 | 나노융합기술원 | RTP for RTO | MATTSON | AST2800 | 이원범 (054-279-0226) |
| 43 | 나노융합기술원 | RTP for Silicide | MATTSON | AST2800 | 이원범 (054-279-0226) |
| 44 | 나노융합기술원 | High Current Implanter | Varian | Vision 200 | 이원범 (054-279-0226) |
| 45 | 나노융합기술원 | Medium Current Implanter | Varian | E220HP | 이원범 (054-279-0226) |
| 46 | 나노융합기술원 | CD-SEM | Hitachi | 9380II | 김수곤/김병욱 (054-279-0227/0284) |
| 47 | 나노융합기술원 | Spectroscopic Ellipsometer | J.A. Woollam | M-2000 | 이원범 (054-279-0226) |
| 48 | 나노융합기술원 | 4 Point Probe 1 | AIT | CMT-SR2000N | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 49 | 나노융합기술원 | 3D Profiler | Veeco Touson | Wyko NT1100 | 김수곤 (054-279-0227) |
| 50 | 나노융합기술원 | Stress Measurement System | FSM | 500TC | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 51 | 나노융합기술원 | 4 Point Probe 2 | KLA Tencor | RS35s | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 52 | 나노융합기술원 | HR FE-SEM(Clean Room) | Carl Zeiss | LEO SUPRA 35 | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 53 | 나노융합기술원 | Alpha-Step(ME) | TENCOR INSTRUMENTS | ALPHA-STEP IQ | 김수곤 (054-279-0227) |
| 54 | 나노융합기술원 | Thickness Measurement | Therma Wave | OP3260 | 김수곤 (054-279-0227) |
| 55 | 나노융합기술원 | EUV Aerial Image Microscope(AIMS) | VMT | EZM-1000 | 이원범 (054-279-0226) |
| 56 | 나노융합기술원 | EUV Reflectometry | VMT | ARX-2000RM | 이원범 (054-279-0226) |
| 57 | 나노융합기술원 | Cryogenic RF Measurement System | SUSS Microtech | SUSS VIT-801 | 이정윤 (054-279-0234) |
| 58 | 나노융합기술원 | Flicker Noise Measurement System | AGILENT | 89410A | 이정윤 (054-279-0234) |
| 59 | 나노융합기술원 | FT-IR | Thermo Electron Corp. | ECO-1000s | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 60 | 나노융합기술원 | CNT Synthesis System | SEMES / JASCO | TCP CVD SYSTEM | 이원범 (054-279-0226) |
| 61 | 나노융합기술원 | Nanocrystal-Synthesis System | NEST | Nano-Particle | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 62 | 나노융합기술원 | Mask Aligner for NEMS | Suss Microtec Lithofaophy GMBH | MA6 | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 63 | 나노융합기술원 | Mask Aligner(ME) | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
||
| 64 | 나노융합기술원 | PR Asher for NEMS | Yield Engineering System | YES-CV200RFS | 김수곤 (054-279-0227) |
| 65 | 나노융합기술원 | Parylene Coater(ME) | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
||
| 66 | 나노융합기술원 | Spray Coater(ME) | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
||
| 67 | 나노융합기술원 | NEMS Base System(Spin Coater 1) | Midas System | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
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| 68 | 나노융합기술원 | NEMS Base System(Spin Coater 2) | Midas System | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
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| 69 | 나노융합기술원 | NEMS Base System(Wet Station 1) | ATIS | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
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| 70 | 나노융합기술원 | NEMS Base System(Wet Station 2) | ATIS | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
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| 71 | 나노융합기술원 | NEMS Base System(Wet Station 3) | ATIS | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
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| 72 | 나노융합기술원 | NEMS Base System(Wet Station 4) | ATIS | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
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| 73 | 나노융합기술원 | NEMS Base System(optical microscope) | ATIS, Midas System, Jeio Tech, 성원포밍 | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
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| 74 | 나노융합기술원 | E-Beam Evaporator | KVT(koreavacumtech) | KVE-C300160 | 이원범 (054-279-0226) |
| 75 | 나노융합기술원 | PZT Coater | TOK | TS8162FD | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 76 | 나노융합기술원 | Deep Reactive Ion Etcher(DRIE) | STS(SURFACE TECHNOLOGY SYSTEM) | Multiplex Lite ASE-SR | 김수곤/김병욱 (054-279-0227/0284) |
| 77 | 나노융합기술원 | PZT Etcher | LEED System | PZT | 김수곤 (054-279-0227) |
| 78 | 나노융합기술원 | Spin Coater with Glove Box | MBraun | Spin coater(SUSS MicroTec), glove box(Unilab) | 이정윤 (054-279-0234) |
| 79 | 나노융합기술원 | Mask Aligner | Suss Microtec | MA8 | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 80 | 나노융합기술원 | Display Photo Base System | HIT / TSTI | H-MDS-P01, H-MES-P01 / SmartCube-MS | 김동은 (054-279-0238) |
| 81 | 나노융합기술원 | Ink Jet Printing System | Unijet | UJ 2100 | 김동은 (054-279-0238) |
| 82 | 나노융합기술원 | OMBD_Metal Evaporation System | 알파플러스 | alpha-plus | 이원범 (054-279-0226) |
| 83 | 나노융합기술원 | OLED Evaporation System | Sunic System | Sunicel plus 200 / 1 inch full color PMOLED | 김동은 (054-279-0238) |
| 84 | 나노융합기술원 | Sputter (OLED) | Sunicel | Sunicel plus 200 | 김동은 (054-279-0238) |
| 85 | 나노융합기술원 | PECVD System | 아텍시스템 | UF-CVD200 | 김동은 (054-279-0238) |
| 86 | 나노융합기술원 | OLED Probe Station with Glove Box | MS-Tech / M.BRAUN INTERTGAS-SYSTEM GMBH / KEITHLEY | Probe station, glove box, I-V/C-V meter | 이정윤 (054-279-0234) |
| 87 | 나노융합기술원 | I-Line Stepper 2 | NIKON | NSR 2205 i11D | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 88 | 나노융합기술원 | I-Line Stepper 3 | NIKON | NSR 2205 i10C | 김동현/이남걸 (054-279-0237/0282) |
| 89 | 나노융합기술원 | PR Track 2 | TEL | MARK-7 | 이남걸 (054-279-0282) |
| 90 | 나노융합기술원 | PR Asher_FEOL 2 | Yield Engineering System | YES-CV200RFS | 김수곤/김병욱 (054-279-0227/0284) |
| 91 | 나노융합기술원 | Furnace_Poly Si 2 | TEL | ALPHA-805SC | 이원범 (054-279-0226) |
| 92 | 나노융합기술원 | Furnace_High T Anneal 2 | TEL | ALPHA-805D | 변상섭 (054-279-0234) |
| 93 | 나노융합기술원 | Furnace_High T Anneal 3 | TEL | ALPHA-805D | 이원범 (054-279-0226) |
| 94 | 나노융합기술원 | Furnace_Dry Oxidation 2 | TEL | ALPHA-805D | 변상섭 (054-279-0234) |
| 95 | 나노융합기술원 | Furnace_Pyro Oxidation 2 | TEL | ALPHA-805D | 이원범 (054-279-0226) |
| 96 | 나노융합기술원 | Optical Microscopes 1 | Zeiss,Olympus | Olympus MX51 | 이남걸 (054-279-0282) |
| 97 | 나노융합기술원 | Optical Microscopes 2 | Zeiss,Olympus | Olympus MX51 | 김수곤 (054-279-0227) |
| 98 | 나노융합기술원 | Optical Microscopes 3 | Zeiss,Olympus | Olympus MX51 | 기종 (054-279-0232) |
| 99 | 나노융합기술원 | Optical Microscopes 4 | Zeiss,Olympus | Olympus MX51 | 이원범 (054-279-0226) |
| 100 | 나노융합기술원 | Optical Microscopes -Ⅴ | Zeiss,Olympus | Olympus MX51 | 기종/이정익 (054-279-0232/0288) |
| 101 | 나노융합기술원 | High Temperature Anneal Furnace | ULVAC, Inc. | PFS-6000-25 | 이원범 (054-279-0226) |
| 102 | 나노융합기술원 | High Resolution FE-SEM | JEOL | JEOL JSM-7401F | 은영무 (054-279-0324) |
| 103 | 나노융합기술원 | Focused Ion Beam System(GUMI Center) | SII | SII SMI3050SE | 김정훈 (054-479-2282) |
| 104 | 나노융합기술원 | SPM System(GUMI Center) | VEECO | VEECO Dimension 3100 + Nanoscope V (Version 7.0) | 김정훈 (054-479-2282) |
| 105 | 나노융합기술원 | Focused Ion Beam/EBSD | FEI | Helios, Pegasus | 오창열 (054-279-0286) |
| 106 | 나노융합기술원 | Nano Indenter | Hysitron | PI-85 | 오창열 (054-279-0286) |
| 107 | 나노융합기술원 | HR-[S]TEM 1(2100F with Cs Corrected STEM) | JEOL | JEOL JEM-2100F(with Cs Corrector on STEM) | 이남석/채정은 (054-279-0312) |
| 108 | 나노융합기술원 | HR-[S]TEM 2(2200FS with Image Cs-Corrector) | JEOL | JOEL JEM-2200FS(with Image Cs-corrector) | 박현진 (054-279-0313) |
| 109 | 나노융합기술원 | 3 Dimensional Atom Probe | CAMECA | LA-WATAP | 이재혁 (054-279-0236) |
| 110 | 나노융합기술원 | SPM System(AFM/STM Base) | VEECO | VEECO Dimension 3100 + Nanoscope V (Version 7.0) | 은영무 (054-279-0324) |
| 111 | 나노융합기술원 | Multi-Mode STM_AFM | UNISOKU | SPM-1200 | 은영무 (054-279-0324) |
| 112 | 나노융합기술원 | Secondary Ion Mass Spectrometry(SIMS) | CAMECA | IMS 6F | 차현구/김성규 (054-279-0315/0215) |
| 113 | 나노융합기술원 | Magnetic Property Measurement System(MPMS) | Quantum Design | MPMS XL-7 | 정진실 (054-279-0323) |
| 114 | 나노융합기술원 | Low Temp Probe Station(LTPS) | LEIDEN CRYOGENICS | MNK126-500, 16T-52-H3 | 김성규 (054-279-0215) |
| 115 | 나노융합기술원 | Sample Preparation System | Allied | 정진실 (054-279-0323) |
|
| 116 | 나노융합기술원 | Cutting/Grinding/Polishing System(Electro-polishing) | Allied | cutting, grinding, polishing | 정진실 (054-279-0323) |
| 117 | 나노융합기술원 | Gentle Mill | TECHNOORG LINDA | GentleMill | 정진실 (054-279-0323) |
| 118 | 나노융합기술원 | Ion Beam Thinner | Gatan | PIPS model 691 | 정진실 (054-279-0323) |
| 119 | 나노융합기술원 | Dual Beam FIB(Focused Ion Beam) | FEI COMPANY | Helios | 백경흠 (054-279-0277) |
| 120 | 나노융합기술원 | UV/Vis/nIR Spectrometer | SEMES / JASCO | V-670 | 정진실 (054-279-0323) |
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