| 스마트센서를 위한 벌크 실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼 개발

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문서번호	PLA02201705	작성일	2017. 06. 03.
소속	서울대학교	담당자	장보배로
연락처	02-880-1730	이메일	sbobaro@snu.ac.kr
[ 공 정 규 격 서 ]
공정명	스마트센서를 위한 벌크 실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼 개발	공정분류	MEMS/NEMS 공정
1. 공정 목적 및 용도
벌크실리콘 SOLID NEMS 관성 센서 공정 플랫폼을 한국나노기술원 (KANC)에 구축함으로써 스마트 센서 제작 기술을 개발하는데 활용하기 위함
2. 공정 구조 및 특성
2. 공정 조건 3. 공정 결과물(사진)
3. 공정순서
4. 공정 조건
4. 공정 결과물 특성