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문서번호	PLA03201701	작성일	2017. 09. 19.
소속	한양대학교	담당자	한양대학교
연락처		이메일
[ 공 정 규 격 서 ]
공정명	Bulge Test	공정분류	Test
1. 공정 목적 및 용도
○ 공정 목적 - 극박막에 대한 평가 기술 부재로 EUV 펠리클의 기계적 특성을 비교하기 위한 척도가 미비한 상황임. 해당 공정을 통해 극박막 멤브레인의 기계적 강도 (Young’s modulus, 파괴강도 등) 측정하여 EUV 펠리클의 물질 및 구조 별 기계적 특성 비교 및 평가를 진행함. ○ 공정 용도 - 극박막 멤브레인의 기계적 강도 (Young’s modulus, 파괴강도 등)를 측정하기 위한 시료의 준비방법과 실험 조건, 특히 수십 나노미터 단위의 극박막 펠리클의 기계적 특성 평가에 활용함.
2. 공정 구조 및 특성
○ 공정 구조 (사진 및 모식도/구조도 등) ○ 공정 특성 1. 실측 데이터 - 압력 차이에 따른 박막 중앙부 defleciton 측정 - 압력에 의한 박막 파괴 시 최종 burst pressure 측정 - 압력에 따른 deflection 곡선 비교를 통한 극박막의 기계적 특성 평가 2. 데이터 처리 결과 - 정확도 : 압력 센서 오차 범위 : 0.2% / 변위 센서 정지 분해능 : 0.1 um
3. 공정순서
4. 공정 조건
기타 - 파괴 순간의 초고속 카메라 영상 취득 가능