| 화합물반도체 기반 센서 설계 DB

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문서번호	PLA05201705	작성일	2017. 05. 30.
소속	한국나노기술원	담당자	정상현
연락처	010-4402-8992	이메일	sanghyun.jung@kanc.re.kr
[ 공 정 규 격 서 ]
공정명	화합물반도체 기반 센서 설계 DB	공정분류	단위 공정
1. 공정 목적 및 용도
고집적 다차원 이종센서 집적 공정 플랫폼을 위한 화합물 반도체 기반 센서 공정 기술 개발
2. 공정 구조 및 특성
공정 결과물(사진)
3. 공정순서
4. 공정 조건