| TEM & APT 동시분석법 개발

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문서번호	PLA05201708	작성일	2017. 06. 30.
소속	나노융합기술원	담당자	김성규
연락처	thkim@nnfc.re.kr	이메일	goresil@postech.ac.kr
[ 공 정 규 격 서 ]
공정명	TEM & APT 동시분석법 개발	공정분류	시편분석
1. 공정 목적 및 용도
3차원 구조 및 성분분석을 위한 TEM & APT 동시분석 진행을 목적으로 함
2. 공정 구조 및 특성
공정 결과물 특성 ○ LFT WLP microbolometer - Bias 범위 : 1V 이내 - Current measure(sampling) : Pulse bias 100msec(40usec, 4000sample) - 규격 : Thermal time constant over 10mse - 센싱 허용 범위 : Vacuum 1atm to 10mtorr
3. 공정순서
4. 공정 조건