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| 마이크로 히터 블록

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문서번호 PLA02201701 작성일 2017. 09. 08.
소속 한국나노기술원 작성자 이희관

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 마이크로 히터 블록 공정분류 일괄 공정
1. 공정 목적 및 용도
센서 응용을 위한 마이크로 히터 블록 제작
2. 공정 구조 및 특성
공정 결과물(사진)

공정 결과물 특성

○ Micro heater

- 온도범위 : ~ 300 ℃ 이하

- 승온속도 : 100 msec 이내

- 규격 : 1.2 mm × 1.2 mm 이하
3. 공정순서
4. 공정 조건