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| 스마트 센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼

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문서번호 PLA02201706 작성일 2018. 04. 12.
소속 서울대학교 작성자

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 스마트 센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼 공정분류 MEMS/NEMS 공정
1. 공정 목적 및 용도
벌크실리콘 SOLID NEMS 관성 센서 공정 플랫폼을 한국나노기술원 (KANC)에 구축함으로써 스마트 센서 제작 기술을 개발하는데 활용하기 위함
2. 공정 구조 및 특성
2. 공정 조건



3. 공정 결과물(사진)



3. 공정순서
4. 공정 조건