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| 스마트센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정플랫폼

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문서번호 PLA02201707 작성일 2018. 12. 13.
소속 서울대학교 담당자 장보배로
연락처 02-880-1730 이메일 sbobaro@snu.ac.kr

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 스마트센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정플랫폼 공정분류 실리콘 나노와이어 공정
1. 공정 목적 및 용도
확립된 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 프로세스 레시피를 활용하여 다양한 크기 및 모양을 가진 실리콘 나노와이어를 형성하기 위함


2. 공정 구조 및 특성
3. 공정순서
 
4. 공정 조건