서브탑

| Bulge Test

장비검색
문서번호 PLA03201701 작성일 2017. 09. 19.
소속 한양대학교 작성자 한양대학교

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 Bulge Test 공정분류 Test
1. 공정 목적 및 용도
○ 공정 목적

- 극박막에 대한 평가 기술 부재로 EUV 펠리클의 기계적 특성을 비교하기 위한 척도가 미비한 상황임.

해당 공정을 통해 극박막 멤브레인의 기계적 강도 (Young’s modulus, 파괴강도 등) 측정하여 EUV 펠리클의 물질 및 구조 별 기계적 특성 비교 및 평가를 진행함.

○ 공정 용도

- 극박막 멤브레인의 기계적 강도 (Young’s modulus, 파괴강도 등)를 측정하기 위한 시료의 준비방법과 실험 조건, 특히 수십 나노미터 단위의 극박막 펠리클의 기계적 특성 평가에 활용함.
2. 공정 구조 및 특성
○ 공정 구조 (사진 및 모식도/구조도 등)



○ 공정 특성

1. 실측 데이터

- 압력 차이에 따른 박막 중앙부 defleciton 측정

- 압력에 의한 박막 파괴 시 최종 burst pressure 측정

- 압력에 따른 deflection 곡선 비교를 통한 극박막의 기계적 특성 평가

2. 데이터 처리 결과

- 정확도 : 압력 센서 오차 범위 : 0.2% / 변위 센서 정지 분해능 : 0.1 um
3. 공정순서
4. 공정 조건


기타

- 파괴 순간의 초고속 카메라 영상 취득 가능