서브탑

| 이종 기판 저온 접합 공정

장비검색
문서번호 PLA05201704 작성일 2017. 05. 30.
소속 한국나노기술원 작성자 정상현

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 이종 기판 저온 접합 공정 공정분류 단위 공정
1. 공정 목적 및 용도
고집적 다차원 이종센서 집적 공정 플랫폼을 위한 이종 기판 저온 접합 공정 기술 개발


2. 공정 구조 및 특성
공정 결과물(사진)





공정 결과물 특성



   ○ 접합 온도 

       - 온도 : 230 ℃ 



   ○ 고온 안정성

      - 온도 및 시간 : 150 ℃ (500시간)
3. 공정순서
4. 공정 조건