| 화합물반도체 기반 센서 설계 DB
장비검색
문서번호
PLA05201705
작성일
2017. 05. 30.
소속
한국나노기술원
담당자
정상현
연락처
010-4402-8992
이메일
sanghyun.jung@kanc.re.kr
[ 공 정 규 격 서 ]
공정명
화합물반도체 기반 센서 설계 DB
공정분류
단위 공정
1. 공정 목적 및 용도
고집적 다차원 이종센서 집적 공정 플랫폼을 위한 화합물 반도체 기반 센서 공정 기술 개발
2. 공정 구조 및 특성
공정 결과물(사진)
3. 공정순서
4. 공정 조건