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| 화합물반도체 기반 센서 설계 DB

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문서번호 PLA05201705 작성일 2017. 05. 30.
소속 한국나노기술원 작성자 정상현

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 화합물반도체 기반 센서 설계 DB 공정분류 단위 공정
1. 공정 목적 및 용도
고집적 다차원 이종센서 집적 공정 플랫폼을 위한 화합물 반도체 기반 센서 공정 기술 개발
2. 공정 구조 및 특성
공정 결과물(사진)




3. 공정순서
4. 공정 조건