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| TEM & APT 동시분석법 개발

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문서번호 PLA05201708 작성일 2017. 06. 30.
소속 나노융합기술원 작성자 김성규

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 TEM & APT 동시분석법 개발 공정분류 시편분석
1. 공정 목적 및 용도
3차원 구조 및 성분분석을 위한 TEM & APT 동시분석 진행을 목적으로 함
2. 공정 구조 및 특성


공정 결과물 특성



○ LFT WLP microbolometer

- Bias 범위 : 1V 이내

- Current measure(sampling) : Pulse bias 100msec(40usec, 4000sample)

- 규격 : Thermal time constant over 10mse

- 센싱 허용 범위 : Vacuum 1atm to 10mtorr
3. 공정순서
4. 공정 조건