서브탑

| SIMS 분석 절차서

장비검색
문서번호 PLA05201712 작성일 2018. 04. 30.
소속 나노융합기술원 작성자 김성규

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 SIMS 분석 절차서 공정분류 시편분석
1. 공정 목적 및 용도
SIMS(secondary Ion Mass Spectrometry)를 이용한 질량 분석절차 확립을 목적으로 함
2. 공정 구조 및 특성
분석 절차서 



1. 전원 ON/OFF

  PC 조작부의 power 스위치를 on, 장비 메인 파워 스위치를 ON



2. 프로그램 구동

  - 메인벨브 open, 중간벨브 open

  - 프로그램 업로드



3. 1차이온부 정렬

  - MCP의 이미지를 보고 이온이 검출기에 도달하는지 확인

  - 랜즈 L4, L3, L2, L1 순서로 정렬

  - 이온빔의 모양을 보고 한점에 모이도록 정렬  



4. 2차이온부 정렬

  - contrast aperture, field aperture 정렬 

  - entrance slit, exit slit 정렬 



5. 분석진행을 위한 mass calibration

  - ion beam ON

  - 분석원소 질량과 자기장값 matching

  - HMR(High Mass Resolution)을 이용하기 위한 slit 조절

  - 분석원소 질량이 겹치는 원소들을 분리하는 작업



6. 분석진행

  - 분석영역으로 이동

  - 분석할 크기 지정(예:200um*200um)

  - 경원소부터 중원소로 1초단위로 이온검출을 변경하며 분석진행



7. 분석종료

  - ion beam off

  - source ion off

  - mass zero, 검출기 전압 zero

  - 프로그램 종료

  - 시스템 종료
3. 공정순서
4. 공정 조건
분석장비 사진 및 분석결과







기타 : 표준절차서를 확보하여 유저들이 쉽게 접근 가능하도록 하는 것을 목표.