| 스마트 센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼(SBM)
| 문서번호 | PLA01202003 | 작성일 | 2020. 07. 01. |
| 소속 | 서울대학교 | 담당자 | 장보배로 |
| 연락처 | 02-880-1730 | 이메일 | sbobaro@snu.ac.kr |
[ 공 정 규 격 서 ] |
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| 공정명 | 스마트 센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼(SBM) | 공정분류 | 소자/센서 |
| 1. 공정 목적 및 용도 | |||
| 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 프로세스를 활용하여 300 nm 300 nm 이하의 SiNW를 포함하는 MEMS 마이크로폰을 제작하기 위함 | |||
| 2. 공정 구조 및 특성 | |||
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○ 공정 결과물     ○ 공정 결과물 특성 - 센서  |
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| 3. 공정순서 | |||
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| 4. 공정 조건 | |||
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