| 단일광자검출센서용 저저항, 고신뢰성 Anode 전극 제작을 위한 표준공정 (Trench Type Anode 구조)

장비검색
문서번호 PLA03202006 작성일 2020. 5. 29.
소속 나노종합기술원 담당자 설우석
연락처 042-366-1605 이메일 wssul@nnfc.re.kr

[ 공 정 규 격 서 ]

공정명 단일광자검출센서용 저저항, 고신뢰성 Anode 전극 제작을 위한 표준공정 (Trench Type Anode 구조) 공정분류 소자/센서
1. 공정 목적 및 용도
○ 공정 목적

나노 실리콘기반 단일광자검출센서의 저저항, 고신뢰성 Trench-Type Anode 전극 제작을 위한 표준공정. Trench-Type Anode 전극은 복잡한 공정 및 높은 제작비용 등의 단점도 있으나, 낮은 저항 특성과 Wafer 앞면에 Anode 및 Cathode 전극이 동시에 형성 가능하여 Package에 용이한 장점이 있음.
2. 공정 구조 및 특성
○ 공정 결과물



○ 공정 결과물 특성

- Construction Analysis : Trench-type Anode 전극 단면 분석
: Trench 관련 (Depth, Size, Slope Angle 등 Trench Profile, Silicon Damage 등), 전극 관련 (계면, Void, Sidewall Isolation 등)
- Resistance Analysis : 소자 제작 후 Anode 전극 Resistance 분석
3. 공정순서
4. 공정 조건