| Vacuum Gap이 형성된 Membrane 제작 공정
| 문서번호 | SA2019001 | 작성일 | 2019. 11. 28 |
| 소속 | 인하대학교 | 담당자 | 최리노 |
| 연락처 | 010-8777-8763 | 이메일 | rino.Choi@inha.ac.kr |
[ 공 정 규 격 서 ] |
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| 공정명 | Vacuum Gap이 형성된 Membrane 제작 공정 | 공정분류 | 모듈공정 |
| 1. 공정 목적 및 용도 | |||
| Vaccum gap을 가지는 Membrane 공정 프로세스를 활용하여 다양한 크기 및 모양을 가진 고민감도 및 선택성을 가진 센서를 제작하기 위함 | |||
| 2. 공정 구조 및 특성 | |||
공정 결과물(사진)  |
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| 3. 공정순서 | |||
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| 4. 공정 조건 | |||
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