| 단일광자검출센서용 Quenching Resistor 형성을 위한 표준공정

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문서번호	SA2019010	작성일	2019. 11. 29.
소속	나노종합기술원	담당자	설우석
연락처	042-366-1605	이메일	wssul@nnfc.re.kr
[ 공 정 규 격 서 ]
공정명	단일광자검출센서용 Quenching Resistor 형성을 위한 표준공정	공정분류	모듈공정
1. 공정 목적 및 용도
나노 실리콘 기반 단일광자검출센서의 Reset 역할을 수행하는 중요한 수동소자인 Quenching Resistor 형성을 위한 표준공정
2. 공정 구조 및 특성
○ 공정 구조 ○ 공정 특성 - Construction Analysis : Resistor 단면 분석 (Etch Profile, Damage, Over-etch 분석) - Resistance Analysis : Poly-Silicon Sheet Resistance 측정 (4 Point Probe)
3. 공정순서
4. 공정 조건