| Reactive Oxide 표준공정 플랫폼

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문서번호 HA2019005 작성일 2019. 12. 02.
소속 나노종합기술원 담당자 강일석
연락처 042-366-1735 이메일 iskang@nnfc.re.kr

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 Reactive Oxide 표준공정 플랫폼 공정분류 모듈공정
1. 공정 목적 및 용도
IoT 시대를 맞아 극한 환경 등 다양한 조건에서의 다양한 가스 센서가 요구되고 있고, 특별히 수소경제 시대를 맞아 수소 센서에 대한 요구가 증대되고 있음. 여러 가스 센싱 방식 중 Metal과 Metal Oxide 계면을 활용하는 방식이 고온 센싱에 적합한 방식이며, 이에 다양한 Metal Oxide 공정 기술 개발이 필수적임.
2. 공정 구조 및 특성
2. 수소 센싱 메커니즘

① 수소 분자가 Pd 표면에 흡수되고 원자로 분해된다.

H2(g) ↔ H2(ad)

H2(ad) → 2H+ + 2e-

② 수소 원자가 Pd층에 흡수된다.

③ 수소 원자가 Pd/Metal-Oxide(Ta2O5) 계면에 흡수되고

얇은 dipole층을 형성한다.

④ 얇은 dipole층에 의해 Pd의 Barrier 높이가 줄어든다.
3. 공정순서
4. 공정 조건