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	장비명	Overlay Measurement System
	모델명	ARCHER-10XT
	제조사	KLA-Tencor Corporation
	보유기관	나노종합기술원
	장비분류	공정
	담당자	이동욱
	전화	042-366-1532
\| 사양(구성및성능) □ Throughput : > 90wfs □ TIS : < 5nm □ Wafer size : 200mm wafer
\| 용도 □ KLA-Archer 10 XT enables IC manufacturers to meet the challenges of overlay control, providing better monitoring and analysis that maximizes overlay control on new technologies to improve yield and cost of ownership