| 순번 | 보유기관명 | 장비명 | 제조업체 | 모델명 | 담당자(전화) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 한국나노기술원 | E-Beam Lithography System 1 (9300) | JEOL | JBX9300FS | 김창환 (031-546-6336) |
| 2 | 한국나노기술원 | E-Beam Lithography System 2 (6000) | JEOL | JBX6000FS/E | 김창환 (031-546-6336) |
| 3 | 한국나노기술원 | Nanoimprinter | OBDUCAT | EITRE-8 | 허은진 (031-546-6340) |
| 4 | 한국나노기술원 | KrF Stepper | ASML | PAS5500/300C | 황선용 (031-546-6338) |
| 5 | 한국나노기술원 | Auto Aligner(2~3inch) | Karl suss | MA150e | 허은진 (031-546-6340) |
| 6 | 한국나노기술원 | Auto Aligner(4~6inch) | Karl suss | MA150e | 강세민 (031-546-6313) |
| 7 | 한국나노기술원 | Mask Aligner 1&2(R&D) | EVG | EVG620 | 김서현 (031-546-6236) |
| 8 | 한국나노기술원 | Track 1(2~3inch) | SVS | MSX1000 | 김서연 (031-546-6237) |
| 9 | 한국나노기술원 | Track 2(4~6inch) | SVS | MSX2000 | 황선용 (031-546-6338) |
| 10 | 한국나노기술원 | Track 3(4~6inch) | SVS | MSX1000 | 김서현 (031-546-6236) |
| 11 | 한국나노기술원 | Track 4(4~6inch) | SVS | MSX1000 | 허은진 (031-546-6340) |
| 12 | 한국나노기술원 | Hot Plate Baker 1&2&3 | JOEUN Tech. | JHS1W6-250M | 김창환 (031-546-6336) |
| 13 | 한국나노기술원 | Spin Coater | SUSS Microtec | DELTA80T | 허은진 (031-546-6340) |
| 14 | 한국나노기술원 | Convection Oven 1&2 | JEIO TECH | CO-125D-NS | 허은진 (031-546-6340) |
| 15 | 한국나노기술원 | Mask Cleaner | Yooil Tech. | YIT-PMC-M4K | 허은진 (031-546-6340) |
| 16 | 한국나노기술원 | CD-SEM 1 | Hitachi | S-9260A | 장민철 (031-546-6224) |
| 17 | 한국나노기술원 | Organic Wet-Station(Litho) | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 18 | 한국나노기술원 | Develop Wet-Bench(Litho) | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 19 | 한국나노기술원 | Organic Wet-Bench(Litho) | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 20 | 한국나노기술원 | SRD 1&2(Litho) | VANTAGE | VTI470S | 이동근 (031-546-6322) |
| 21 | 한국나노기술원 | Acid Wet-Station | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 22 | 한국나노기술원 | Alkali Wet-Station | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 23 | 한국나노기술원 | Organic Wet-Station | ATIS | Organic Wet Station | 이동근 (031-546-6322) |
| 24 | 한국나노기술원 | SRD 1&2&3 | VANTAGE | VTI470S | 이동근 (031-546-6322) |
| 25 | 한국나노기술원 | Liftoff Machine | M.SETEK | VL-6020 | 강세민 (031-546-6313) |
| 26 | 한국나노기술원 | Spin Etcher | M.SETEK | VE-8200 | 강세민 (031-546-6313) |
| 27 | 한국나노기술원 | Au Plating Machine (Frontside) | Sungwon Forming | SWP-C3D | 이동근 (031-546-6322) |
| 28 | 한국나노기술원 | Au Plating Machine (Backside) | Sungwon Forming | SWP-C3D | 이동근 (031-546-6322) |
| 29 | 한국나노기술원 | Acid Wet-Station(R&D) | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 30 | 한국나노기술원 | Alkali Wet-Station(R&D) | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 31 | 한국나노기술원 | Organic Wet-Station(R&D) | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 32 | 한국나노기술원 | Acid Wet-Bench | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 33 | 한국나노기술원 | Alkali Wet-Bench | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 34 | 한국나노기술원 | Organic Wet-Bench | ATIS | Designed for KANC | 이동근 (031-546-6322) |
| 35 | 한국나노기술원 | LiftOff Wet-Bench(R&D) | ATIS | Designed for KANC | 강세민 (031-546-6313) |
| 36 | 한국나노기술원 | SRD 1&2&3 | VANTAGE | VTI470S | 이동근 (031-546-6322) |
| 37 | 한국나노기술원 | Laser Marker | EO Techniccs | SFL063 | 김창환 (031-546-6336) |
| 38 | 한국나노기술원 | Cu/Ni Plating Machine | Sungwon FOrming | SW-PM2-R2Q1 | 이동근 (031-546-6322) |
| 39 | 한국나노기술원 | E-Beam Evaporator 1 (R&D) | ULTECH | UEE | 이병오 (031-546-6337) |
| 40 | 한국나노기술원 | E-Beam Evaporator 2 (R&D) | ULTECH | UEE | 이병오 (031-546-6337) |
| 41 | 한국나노기술원 | E-Beam Evaporator 3 (R&D) | ULTECH | UEE | 이병오 (031-546-6337) |
| 42 | 한국나노기술원 | PE(HDP)-CVD(R&D) | BMR | High-DEP | 박미림 (031-546-6238) |
| 43 | 한국나노기술원 | Sputter(R&D) | ULTECH | SPS series | 임웅선 (031-546-6235) |
| 44 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 1 (R&D) | STS | Multiplex ICP | 최재원 (031-546-6220) |
| 45 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 2 (R&D) | STS | Multiplex ICP | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 46 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 3 (R&D) | STS | Multiplex ICP | 최재원 (031-546-6220) |
| 47 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 4 (R&D) | OXFORD SYSTEM | ICP 380 | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 48 | 한국나노기술원 | Si Deep Etcher(R&D) | ALCATEL | AMS200 | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 49 | 한국나노기술원 | ICP PR Asher(R&D) | AMS | ALA-0601E | 김창환 (031-546-6336) |
| 50 | 한국나노기술원 | RTA(R&D) | NYM TECH | RTA150H-SVP1 | 임웅선 (031-546-6235) |
| 51 | 한국나노기술원 | MOCVD 1 | AIXTRON | AIX200/4 RF | 김창주 (031-546-6333) |
| 52 | 한국나노기술원 | MOCVD 2 | AIXTRON | AIX2400G3HT | 송근만 (031-546-6328) |
| 53 | 한국나노기술원 | MOCVD 3 | AIXTRON | Aix2600 G3 IC | 김창주 (031-546-6333) |
| 54 | 한국나노기술원 | MOCVD 4 | AIXTRON | CRIUS-R | 전동환 (031-546-6330) |
| 55 | 한국나노기술원 | MBE | SVTA | SVTA35-10-4-V | 김종민 (031-546-6325) |
| 56 | 한국나노기술원 | XRD | BRUKER | D8 DISCOVER | 송근만 (031-546-6328) |
| 57 | 한국나노기술원 | PL Mapper | ACCENT | RPM2000 | 문아영 (031-546-6230) |
| 58 | 한국나노기술원 | ECV | Accent | ECVPro | 정해용 (031-546-6331) |
| 59 | 한국나노기술원 | Hall Measurement System | Accent | HL5500PC | 오세웅 (031-546-6231) |
| 60 | 한국나노기술원 | Non-Contact Sheet Resistance | LEI | 1510B | 김동현 (031-546-6329) |
| 61 | 한국나노기술원 | Wafer Bonder | AST | Tbon-100 | 임웅선 (031-546-6235) |
| 62 | 한국나노기술원 | E-Beam Evaporator 1 | ULVAC | El-5 | 이근우 (031-546-6215) |
| 63 | 한국나노기술원 | E-Beam Evaporator 2 | ULVAC | El-5 | 이근우 (031-546-6215) |
| 64 | 한국나노기술원 | PECVD 1 | Unaxis | VL-LA-PECVD | 이용수 (031-546-6318) |
| 65 | 한국나노기술원 | PECVD 2 | Unaxis | VL-LA-PECVD | 이용수 (031-546-6318) |
| 66 | 한국나노기술원 | Sputter(Cluster) | ULVAC | SME-200J | 임웅선 (031-546-6235) |
| 67 | 한국나노기술원 | Batch Type Sputter | ULVAC | ULDiS-4540SV | 임웅선 (031-546-6235) |
| 68 | 한국나노기술원 | LPCVD | CENTROTHERM | E1550 | 이용수 (031-546-6318) |
| 69 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 1 | Unaxis | VL-ICP-GaAs Via-III | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 70 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 2 | Unaxis | VL-ICP | 최재원 (031-546-6220) |
| 71 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 3 | Unaxis | VL-ICP | 최재원 (031-546-6220) |
| 72 | 한국나노기술원 | RIE 1 | Unaxis | VL-PHF-RIE | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 73 | 한국나노기술원 | ICP PR Asher 1&2 | BMR | DFS200 | 김창환 (031-546-6336) |
| 74 | 한국나노기술원 | Microwave Asher | ULVAC | Enviro II | 강세민 (031-546-6313) |
| 75 | 한국나노기술원 | RIE 2 | PTI | VL-PHF-RIE | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 76 | 한국나노기술원 | RTA | NYM TECH | RTA150H-AVP1 | 임웅선 (031-546-6235) |
| 77 | 한국나노기술원 | Track V(8inch) | TEL | Mark-7 | 장민철 (031-546-6224) |
| 78 | 한국나노기술원 | CD-SEM 2 | Hitachi | S8820 | 장민철 (031-546-6224) |
| 79 | 한국나노기술원 | I-line Stepper | Nikon | i9C | 강세민 (031-546-6313) |
| 80 | 한국나노기술원 | Wet Station | Sugai | Wet Station 200 | 이동근 (031-546-6322) |
| 81 | 한국나노기술원 | Sputter | APPLIED MATERIALS | E5500 | 임웅선 (031-546-6235) |
| 82 | 한국나노기술원 | FURNACE | TEL | alpha-805D | 이용수 (031-546-6318) |
| 83 | 한국나노기술원 | Ion Implanter | VERIAN | EHPi-220 | 이용수 (031-546-6318) |
| 84 | 한국나노기술원 | ICP PR Asher 3 | PSK | DAS-2000 | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 85 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 4 | TEL | Unity-ale 855 SS | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 86 | 한국나노기술원 | ICP Etcher 5 | LAM | TCP9408 | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 87 | 한국나노기술원 | Dc Prober | Electroglas | EG4080X | 이병오 (031-546-6337) |
| 88 | 한국나노기술원 | Die Bonder | Datacon | 2200EVO | 이희관 (031-546-6226) |
| 89 | 한국나노기술원 | Wire Bonder | K&S | Maxum Ultra | 이희관 (031-546-6226) |
| 90 | 한국나노기술원 | Laser Scriber | Hyer Photon Systems | HPS-363KT | 이희관 (031-546-6226) |
| 91 | 한국나노기술원 | Dispenser | MUSASHI | Shot Mini 200S-3A | 이희관 (031-546-6226) |
| 92 | 한국나노기술원 | Automatic Dicing Saw | DISCO | DAD3350 | 박범두 (031-546-6242) |
| 93 | 한국나노기술원 | Prober | OPTO SYSTEM | WPS3100 | 최영수 (031-546-6327) |
| 94 | 한국나노기술원 | Sorter | OPTO SYSTEM | WDS2200 | 최영수 (031-546-6327) |
| 95 | 한국나노기술원 | OPTO SYSTEM | Prober&Sorter | WMSS2000 | 최영수 (031-546-6327) |
| 96 | 한국나노기술원 | Thermal Shock | ESPEC | TSE-11A | 박문희 (031-546-6219) |
| 97 | 한국나노기술원 | HAST Chamber | ETAC | PM-420 | 박문희 (031-546-6219) |
| 98 | 한국나노기술원 | Analytic STEM | JEOL/CEOS | JEM-2100F, Cs corrector | 김가희 (031-546-6225) |
| 99 | 한국나노기술원 | HR-TEM 2 | JEOL | JEM-2100F | 김가희 (031-546-6225) |
| 100 | 한국나노기술원 | FIB 1 | FEI | NOVA 600 Nanolab | 박덕수 (031-546-6321) |
| 101 | 한국나노기술원 | FIB 2 | FEI | Quanta 3D FEG | 박문희 (031-546-6219) |
| 102 | 한국나노기술원 | FESEM 1, 3 | Hitachi | S-4800 | 강성민 (031-546-6051) |
| 103 | 한국나노기술원 | FESEM 2 | Hitachi | S-4300SE | 강성민 (031-546-6051) |
| 104 | 한국나노기술원 | CL | GATAN | MONO CL3+ | 강대훈 (031-546-6227) |
| 105 | 한국나노기술원 | AFM 1, 2, 3 | PSIA | XE100, XE150 | 강대훈 (031-546-6227) |
| 106 | 한국나노기술원 | FT-IR | Thermo electron corp. | Nicolet5700 | 김보슬 (031-546-6229) |
| 107 | 한국나노기술원 | Spectrophotometer | Varian | Cary 5000 | 김보슬 (031-546-6229) |
| 108 | 한국나노기술원 | TCSPC | Picoquant | FluoTime200 | 강성민 (031-546-6051) |
| 109 | 한국나노기술원 | UV/VIS/NIR/THz Spectroscopic Source | Coherent | Chameleon-XR | 강성민 (031-546-6051) |
| 110 | 한국나노기술원 | Scanning PL | Asylum Research | MFP-3D Bio | 강성민 (031-546-6051) |
| 111 | 한국나노기술원 | LIV System | Optel-Precision | OPI-150 | 최영수 (031-546-6327) |
| 112 | 한국나노기술원 | Probe Station 1 | Cascade Microtech | Summit11741B | 박덕수 (031-546-6321) |
| 113 | 한국나노기술원 | Probe Station 2 | Cascade Microtech | Summit12201B | 박덕수 (031-546-6321) |
| 114 | 한국나노기술원 | Probe Station 3 | Cascade Microtech | Summit11971B | 박덕수 (031-546-6321) |
| 115 | 한국나노기술원 | 67GHz Modeling Sys. | Agilent | 85225GE09 | 박덕수 (031-546-6321) |
| 116 | 한국나노기술원 | 110GHz Modeling Sys. | Agilent | 85225HE01 | 박덕수 (031-546-6321) |
| 117 | 한국나노기술원 | Parameter Analyzer 1, 2 | Keithley, Agilent | 4200-SCS/F, 4156C | 박덕수 (031-546-6321) |
| 118 | 한국나노기술원 | ADS | Agilent | ADS | 박덕수 (031-546-6321) |
| 119 | 한국나노기술원 | ICCAP | Agilent | IC-CAP | 박덕수 (031-546-6321) |
| 120 | 한국나노기술원 | Stress Meas. System | Frontier Semiconductor | FSM 500TC | 이용수 (031-546-6318) |
| 121 | 한국나노기술원 | Ellipsometer | Ellipsotech | ELLI-SE(UV)-FM6-R | 김창환 (031-546-6336) |
| 122 | 한국나노기술원 | Surface Scan/Profiler | KLA-Tencor | P15 | 윤홍민 (031-546-6335) |
| 123 | 한국나노기술원 | Microscope | Olympus | MX61 | 허은진 (031-546-6340) |
| 124 | 한국나노기술원 | Solar Simulator | Wacom | WXS-220S-L2,AM1.5GM | 최인혜 (031-546-6341) |
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