| 순번 | 보유기관명 | 장비명 | 제조업체 | 모델명 | 담당자(전화) |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 광주나노기술집적센터 | Contact Aligner | ㈜SCINCO | MA8(SUSS Micro Tec) | 정현택 (062-600-6505) |
| 2 | 광주나노기술집적센터 | Track System | SVS | MSX 2000(SVS) | 정현택 (062-600-6505) |
| 3 | 광주나노기술집적센터 | SRD(Spin Rinse Dryer) | Semi Tool, 바이텍 | 4300S-470 | 류동찬 (062-600-6523) |
| 4 | 광주나노기술집적센터 | Megasonic Cleaner(Cleaning Wet Station) | (주)ATIS | Semi-Auto Wet Station | 류동찬 (062-600-6523) |
| 5 | 광주나노기술집적센터 | Wet Station(Etch) | (주)ATIS | Semi-Auto Wet Station | 류동찬 (062-600-6523) |
| 6 | 광주나노기술집적센터 | PR Stripper(Strip Wet Station) | (주)ATIS | PR Stripper | 류동찬 (062-600-6523) |
| 7 | 광주나노기술집적센터 | Optical Microscope 1 | Olympus Corporation | MX61LT-1274MU | 박철영 (062-600-6522) |
| 8 | 광주나노기술집적센터 | Oven | 세정엔지니어링 | CRO-60GH | 류동찬 (062-600-6523) |
| 9 | 광주나노기술집적센터 | Nano Imprint Lithography | Jenoptik AG | HEX04 | 최범호 (062-600-6510) |
| 10 | 광주나노기술집적센터 | Acid Wet Station | (주)ATIS | Acid Wet Station | 정현택 (062-600-6505) |
| 11 | 광주나노기술집적센터 | Organic Evaporator | Sunic System | Sunicel plus 200 | 박철영 (062-600-6522) |
| 12 | 광주나노기술집적센터 | ICP-CVD | BMR | Basic HiDep LXD | 정현택 (062-600-6505) |
| 13 | 광주나노기술집적센터 | In Line Sputter | Sunic system | SUNICOAT-IS3000 | 정현택 (062-600-6505) |
| 14 | 광주나노기술집적센터 | ALD | QUROS | Plus 300 system | 정현택 (062-600-6505) |
| 15 | 광주나노기술집적센터 | Furnace | SUNGIN SEMITECH | SJF-2000 | 정현택 (062-600-6505) |
| 16 | 광주나노기술집적센터 | PECVD System | QUROS | PLUS200-SP | 정현택 (062-600-6505) |
| 17 | 광주나노기술집적센터 | Thin Film Encapsulation | SNU Precision | Thin Film Encapsulation | 박철영 (062-600-6522) |
| 18 | 광주나노기술집적센터 | Sputter(CIGS) | SELCOS | Cluster Type Sputterning system | 정현택 (062-600-6505) |
| 19 | 광주나노기술집적센터 | E-Beam Evaporator | SELCOS | E-beam Evaporator System | 정현택 (062-600-6505) |
| 20 | 광주나노기술집적센터 | ICP-Etcher(Non Metal) | Oxford | Plasmalap System 133 ICP 380 | 정현택 (062-600-6505) |
| 21 | 광주나노기술집적센터 | ICP-Etcher(Metal) | Oxford | Plasmalap System 133 ICP 38 | 정현택 (062-600-6505) |
| 22 | 광주나노기술집적센터 | RTA/RTB | 뉴영엠테크 | RTA200H | 정현택 (062-600-6505) |
| 23 | 광주나노기술집적센터 | RIE(Reactive Ion Etcher) | Oxford | Plasma Lap 133 | 정현택 (062-600-6505) |
| 24 | 광주나노기술집적센터 | Laser Scriber | KORTherm Science | Pico-second laser system | 정현택 (062-600-6505) |
| 25 | 광주나노기술집적센터 | FIB + Nano Manipulator | FEI Company | Quanta 3D FEG | 장하준 (062-600-6513) |
| 26 | 광주나노기술집적센터 | Probe Station | Woowon Technology Co., Ltd. | SUSS PA200PS, KEITHLEY 4200 | 장하준 (062-600-6513) |
| 27 | 광주나노기술집적센터 | Surface Profiler | KORTherm Science | uSurf | 장하준 (062-600-6513) |
| 28 | 광주나노기술집적센터 | AFM | PSIA Corp. | XE-200 | 장하준 (062-600-6513) |
| 29 | 광주나노기술집적센터 | Thickness Monitoring System | KMAC | ST5000 | 장하준 (062-600-6513) |
| 30 | 광주나노기술집적센터 | I-V-C System | Keithley Instruments | 4200 CV System | 장하준 (062-600-6513) |
| 31 | 광주나노기술집적센터 | I-V-L System | Keithley Instruments | LIV Pulse, Continued Test System | 장하준 (062-600-6513) |
| 32 | 광주나노기술집적센터 | 4-Point Probe | NAPSON Corperation | RT-3000 / RG-100 | 장하준 (062-600-6513) |
| 33 | 광주나노기술집적센터 | FE-ESEM | FEI Company | Quanta 200 FEG | 장하준 (062-600-6513) |
| 34 | 광주나노기술집적센터 | Optical Microscope 2 | Olympus | MX61LT-1274MU | 장하준 (062-600-6513) |
| 35 | 광주나노기술집적센터 | Aging Package | Mcscience | M6000 DMX, M6101, Z4000, Q2500 | 박철영 (062-600-6523) |
| 36 | 광주나노기술집적센터 | HR-XRD | PANalytical B.V. | XPert PRO MRD XL | 장하준 (062-600-6513) |
| 37 | 광주나노기술집적센터 | TEM | FEI Company | Quanta 200 FEG | 장하준 (062-600-6513) |
| 38 | 광주나노기술집적센터 | Ellipsometer | Horiba Korea LTD. | UVISEL ER Benchtop AGAS | 장하준 (062-600-6513) |
| 39 | 광주나노기술집적센터 | Mobility Measurement System | Mcscience | Polaronix T 5859 | 박철영 (062-600-6523) |
| 40 | 광주나노기술집적센터 | Stress Measurement System | FRONTIER SEMICINDUCTOR | FSM 500TC | 장하준 (062-600-6513) |
| 41 | 광주나노기술집적센터 | Alpha Step | KLA-Tencor | P-16+ | 장하준 (062-600-6513) |
| 42 | 광주나노기술집적센터 | Scriber | McScience | Polaronix T 5859 | 장하준 (062-600-6513) |
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