| 압력센서 분석 절차서

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문서번호 LA2019004 작성일 2019. 11. 30.
소속 나노융합기술원 담당자 김성규
연락처 010-2851-6528 이메일 goresil@postech.ac.kr

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 압력센서 분석 절차서 공정분류 분석/측정
1. 공정 목적 및 용도
압력센서의 압력과 전기적 신호와의 상관관계를 확보하여 센서로서 변수 확보
2. 공정 구조 및 특성
2. 분석 조건
3. 공정순서

4. 공정 조건
○ 분석 결과물

1) 압저항 압력센서


2) 압전압력센서

압전 압력 센서의 특성 측정 결과(폴리머 PVDF-TrFE 박막 압전 센서)