| 적외선 센서의 TCR 측정 절차

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문서번호 PLA05202001 작성일 2020. 05. 25.
소속 충남대학교 담당자 이희덕
연락처 010-3468-5361 이메일 hdlee@cnu.ac.kr

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 적외선 센서의 TCR 측정 절차 공정분류 특성 분석
1. 공정 목적 및 용도
○ 측정 목적

적외선 센서의 웨이퍼레벨 테스팅 기술을 적용하여 Temperature Coefficient of Resistance (TCR)을 추출하여, 적외선 센서의 성능을 평가하기 위한 도구로 사용하고자 함.
2. 공정 구조 및 특성
○ 측정 조건
1) 측정 온도: 25 ℃, 50 ℃, 75 ℃, 100 ℃
2) 전압 조건: Vanode = 0 V ~ 3 V, Vcathode = 0 V

○ 측정 set up


○ 측정 구성
3. 공정순서

4. 공정 조건
○ 측정 결과물(그래프)