| 웨이퍼 저온 접합 공정도

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문서번호 PLA05201703 작성일 2017. 05. 30.
소속 한국나노기술원 담당자 정상현
연락처 010-4402-8992 이메일 sanghyun.jung@kanc.re.kr

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 웨이퍼 저온 접합 공정도 공정분류 단위 공정
1. 공정 목적 및 용도
고집적 다차원 이종센서 집적 공정 플랫폼을 위한 웨이퍼 저온 접합 공정 기술 개발
2. 공정 구조 및 특성
공정 결과물(사진)





공정 결과물 특성



○ 접합 온도

- 온도 : 240 ℃

○ Re-melt 온도

- 온도 : 400 ℃

○ 고온 안정성

- 온도 및 시간 : 150 ℃ (300시간)

○ 접합 강도

- 접합 강도 : 21.9 Mpa
3. 공정순서
4. 공정 조건