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공인시험성적서
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3차원 적층구조 소자 전력 분석 방법
저온 In-situ doped SiGe 에피성장
초박막 Si 채널층 전사 본딩
Via-집적형 저항변화 원자스위치 소자 공정
초저온 공정 기반 Membrane-Gate FET 바이오센서 제작
Membrane-Gate FET 바이오센서를 위한 IGZO Selectivity 테스트
저온 In-situ doped SiGe 선택적 에피 성장 공정도
ALD 전극을 이용한 게이트 스택 형성
본딩 기반 저온 기판 및 채널층 전사
Vacuum Gap이 형성된 Membrane 제작 공정
선택적 에피 성장된 저온 In-situ doped SiGe의 초저저항 S/D 컨택 형성 공정도
BEOL Via 집적형 원자스위치 소자 제작 공정
CMOS 공정 compatible 원자스위치 기반 논리게이트 제작 공정
본딩 기반 저온 기판 전사 및 Photo Sensor 제작
Via 집적형 원자스위치를 위한 하부전극 형성용 표준공정(Etch 구조)
Via 집적형 원자스위치를 위한 하부전극 형성용 표준공정(Lift-off 구조)
3D WLP 센서 패키지 통합 설계 DB
나노인프라 기반 BEOL Via 집적형 원자스위치 소자 제작 공정
M3D 상부소자용 저온기반 대면적 산화물 박막 트랜지스터 표준공정 /option>
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마이크로 히터 블록
전도성 나노섬유기판의 나노도금
금속 나노구조체 필름 제작
3차원 적층 상부소자 집적 공정을 위한 저온 BEOL공정 개발
스마트 센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼(SBM)
스마트 센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼(ESBM)
스마트센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정플랫폼
스마트 센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼(SBM)
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EUV 투과막 제작
EUV 투과도 측정
박막의 기계적 특성 평가
박막의 열적 특성 평가
극박막 멤브레인의 물성 제어 플랫폼
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Top-down 방식 실리콘 나노와이어센서 공정플랫폼
나노실리콘 센서용 회로기술 플랫폼
나노실리콘 기반 단일광자검출센서
센서-구동회로 상하배선 TSV 연결기술 공정플랫폼
나노 실리콘 센서용 Sensor MAGIC(Multi-mode Acquisition Generic IC) 회로기술 및 IP
Top-down 방식의 Poly-Si nanowire 소자 제작 공정
단일광자검출센서용 Quenching Resistor 형성을 위한 표준공정
단일광자검출센서용 저저항 Contact 형성을 위한 표준공정
멤스멤브레인 공정플랫폼 개발
박막 및 TSV를 갖는 구조 제작용 공정 플랫폼
회로설계분석 자동화프로그램 개발(CircuitFinder)
하부 공동을 갖는 Thin LSN 분할 박막 제작 표준공정
Chip to Wafer Bonding용 Solder Ball Contact 제작 표준 공정
TSV를 이용한 실리콘 Interposer 제작 표준공정
단일광자검출센서용 저저항, 고신뢰성 Anode 전극 제작을 위한 표준공정(Backside Anode 구조)
단일광자검출센서용 저저항, 고신뢰성 Anode 전극 제작을 위한 표준공정(Implantation Type Anode 구조)
단일광자검출센서용 저저항, 고신뢰성 Anode 전극 제작을 위한 표준공정(Trench Type Anode 구조)
Doped Poly-Si 기반 nanowire 표준공정
Poly-Si nanowire 희생층 형성 표준공정
Poly-Si nanowire 희생층 제거 표준공정
나노 실리콘 센서용 Sensor MAGIC(Multi-mode Acquisition Generic IC) 회로 기술 및 IP 개발
회로설계분석 자동화프로그램 개발(CircuitFinder)
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웨이퍼 레벨 패키징용 LFT(Lateral Feed Through 배선 공정
TEM & APT 동시분석법 개발
웨이퍼 저온 접합 공정도
이종 기판 저온 접합 공정
화합물반도체 기반 센서 설계 DB
Interposer 개발 제작 공정도
LFT 개발 제작 공정도
웨이퍼 레벨 패키징용 VFT 배선 공정
초음파 탐상 절차
X-ray CT 비파괴 분석 절차
SIMS 분석 절차서
고진공 WLVP 자이로센서의 Q-factor 측정
진공 WLVP Microbolometer의 I-V 측정
압력센서 분석 절차서
3D WLP 센서 패키지 통합 설계 DB
적외선 센서의 TCR 측정 절차
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AlGaN/GaN HEMT 에피 플랫폼
AlGaN/GaN HEMT 센서 소자 플랫폼
HF Vapor Release Etch 플랫폼
SiC 전극 플랫폼
AlGaAs/GaAs 2DEG-type Hall sensor 에피 플랫폼
고감도 GaAs 자기 홀 센서소자 공정플랫폼
고온 안정성 Ni-Cr 전극 표준공정 플랫폼
고온 안정성 LPCVD Poly Si 전극 표준공정 플랫폼
Low Stress SiNx 절연막 표준 공정 플랫폼
압저항형 압력센서 일괄 표준공정 플랫폼
정전 용량형 압력센서 일관 표준공정 플랫폼
AlGaN/GaN HEMT 센서 소자 플랫폼
고온 안정성 FET(Field effect transistor) SiC 센서 플랫폼
고온 안정성 MIS(metal insulator semiconductor) SiC 센서 플랫폼
Reactive Oxide 표준공정 플랫폼
고온안정성 Pt 전극 플랫폼
고감도 GaAs 자기홀 센서소자 공정플랫폼
고온 안정성 SiC Junction 플랫폼
