| 박막의 기계적 특성 평가

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문서번호 PLA03201704 작성일 2018. 12. 12.
소속 한양대학교 담당자 위성주
연락처 02-2220-0407 이메일 wsj1992@naver.com

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 박막의 기계적 특성 평가 공정분류 공정
1. 공정 목적 및 용도
○ 공정 목적 및 용도

: MEMS 등 멤브레인형 박막이 요구되는 구조에서 멤브레인형 박막의 기계적 특성 ((Young’s modulus, 파괴강도 등)을 확인할 수 있는 평가방법을 마련함.
2. 공정 구조 및 특성
○ 공정 구조 (사진 및 모식도/구조도 등)


○ 공정 특성 :


1. 실측 데이터

- 압력 차이에 따른 박막 중앙부 defleciton 측정

- 압력에 의한 박막 파괴 시 최종 burst pressure 측정

- 압력에 따른 deflection 곡선 비교를 통한 극박막의 기계적 특성 평가



2. 데이터 처리 결과

- 정확도 : 압력 센서 오차 범위 : 0.2% / 변위 센서 정지 분해능 : 0.1 um

- 4:1 이상의 직사각형 멤브레인의 경우 stress-strain curve 도출 가능
3. 공정순서
4. 공정 조건


기타

- 파괴 순간의 초고속 카메라 영상 취득 가능