| 박막의 열적 특성 평가

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문서번호 PLA03201705 작성일 2018. 12. 12.
소속 한양대학교 담당자 장용주
연락처 02-2220-0407 이메일 abco256@naver.com

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 박막의 열적 특성 평가 공정분류 공정
1. 공정 목적 및 용도
○ 공정 목적 및 용도

: 극박막 소재의 종류, 두께변화 등에 따른 열방사 효율을 측정하여 소재의 열적 안정성을 평가함
2. 공정 구조 및 특성
○ 공정 구조 (사진 및 모식도/구조도 등)


○ 공정 특성

1. 실측 데이터

- 박막에 가해지는 355nm UV laser의 출력 측정 및 박막에 가해지는 absorbed heat intensity 계산

- 시간에 따른 박막의 온도 측정

- 박막 구조 별 absorbed heat intensity 또는 EUV source power에 따른 온도 비교를 통해 극박막의 열적 특성 평가 및 EUV 노광 공정 환경을 모사한 열적 내구성 테스트 진행

2. 데이터 처리 결과

- 2-ch pyrometer 온도 측정 범위 : 400 ~ 1500 ℃

- Continuous heat load 혹은 1:9 heating/cooling ratio

- Time vs. temperature curve
3. 공정순서
4. 공정 조건


○ 기타

- 열적 하중에 의해 측정되는 박막 온도로부터 박막의 emissivity 역산을 통해 물질 별 두께에 따른 emissivity database 축적 가능