| 극박막 멤브레인의 물성 제어 플랫폼

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문서번호 QA2019001 작성일 2019. 12. 03
소속 한양대학교 담당자 김하늘
연락처 02-2220-0407 이메일 milky-way@nate.com

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 극박막 멤브레인의 물성 제어 플랫폼 공정분류 분석/측정
1. 공정 목적 및 용도
○ 공정 목적

극박막 멤브레인의 물성 (결정성, 분자 구조, 표면 거칠기 등) 제어

○ 공정 용도

증착 및 열처리 조건 제어를 통해 목표 물성을 갖는 극박막 멤브레인 제작
2. 공정 구조 및 특성
○ 공정 구조(사진 및 모식도/구조도 등)








○ 공정 특성

● DC/RF magnetron sputter

- 진공 환경 (~ 6 * 10-7 torr)에서 목표 박막 증착 공정

- 최대 4“ 웨이퍼 스케일에서 금속 및 금속화합물 증착

- 기판 가열 및 carrier gas를 통한 reactive sputtering 기능 보유

- 세라믹 계열 free-standing membrane 샘플 상 직접 증착 진행


● 진공 열처리

- 진공 환경 (~ 3 * 10-3 torr)에서 박막의 열처리 공정

- Ar/H2 또는 N2 gas를 활용한 열처리 공정 (유량 조절 가능 ~3,000 sccm)

- 최대 110 mm X 144 mm free-standing membrane 면적의 샘플 수용 가능

- 진공 환경 조성 중 멤브레인 파괴를 방지하기 위한 throttle valve 보유

- Automatic controller를 통해 최대 10 step의 열처리 프로세스 가능

- Furnace 내부 압력 및 온도 실시간 모니터링

3. 공정순서


4. 공정 조건