| 웨이퍼레벨 테스팅 기술 Ⅰ : 고진공 WLVP 자이로센서의 Q-factor 측정

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문서번호 LA2019002 작성일 2019.11.29
소속 나노종합기술원 담당자 윤우진
연락처 042-366-1733 이메일 woojinyun@nnfc.re.kr

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 웨이퍼레벨 테스팅 기술 Ⅰ : 고진공 WLVP 자이로센서의 Q-factor 측정 공정분류 분석/측정
1. 공정 목적 및 용도

1. 측정 목적 및 용도

고진공 VFT 웨이퍼레벨 패키징(WLVP) 된 자이로센서의 웨이퍼레벨 테스팅 기술을 적용하여 웨이퍼 수준의 Q-factor를 측정하여, 패키징 및 센서 수율을 평가하기 위한 도구로 활용하고자 함.
2. 공정 구조 및 특성
2. 측정 조건

1) Source level: 1 Vpk, random noise

2) Center frequency: 15 KHz

3) Span: 100 Hz

3. 측정 셋업
3. 공정순서
○ 측정 구성



○ 측정 순서
4. 공정 조건
4. 측정 결과물(사진)





1) 측정된 damp값을 Q-factor로 변환