| 압력센서 분석 절차서
문서번호 | LA2019004 | 작성일 | 2019. 11. 30. |
소속 | 나노융합기술원 | 담당자 | 김성규 |
연락처 | 010-2851-6528 | 이메일 | goresil@postech.ac.kr |
[ 공 정 규 격 서 ] |
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공정명 | 압력센서 분석 절차서 | 공정분류 | 분석/측정 |
1. 공정 목적 및 용도 | |||
압력센서의 압력과 전기적 신호와의 상관관계를 확보하여 센서로서 변수 확보 | |||
2. 공정 구조 및 특성 | |||
2. 분석 조건 |
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3. 공정순서 | |||
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4. 공정 조건 | |||
○ 분석 결과물 1) 압저항 압력센서 압전 압력 센서의 특성 측정 결과(폴리머 PVDF-TrFE 박막 압전 센서) |