| 고감도 GaAs 자기홀 센서소자 공정플랫폼

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문서번호 HA2019007 작성일 2019. 12. 02.
소속 한국나노기술원 담당자 정해용
연락처 031-546-6331 이메일 haeyong.jeong@kanc.re.kr

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 고감도 GaAs 자기홀 센서소자 공정플랫폼 공정분류 소자/센서
1. 공정 목적 및 용도
○ 공정 목적

GaAs 기반의 고감도 자기 홀 센서소자의 제작 및 활용 가능한 소자 디자인 제시

○ 용도

자기 홀 (Hall) 센서는 홀 효과를 이용하여 자기장을 효과적으로 감지하는 센서로서 자기장 측정뿐 아니라 물체의 위치 및 회전 및 전류등의 측정이 가능하여 사무기기 및 가전제품 모터 제어, 세탁기, 냉장고 등의 도어 스위치, 전류?전력 측정 등 광범위하게 활용되고 있으며, 최근 IT 관련 기기의 발전으로 소형 카메라 모듈의 손떨림 보정 등서도 많이 활용되고 있음.
2. 공정 구조 및 특성
○ 사용 에피 구조

- 2인치~6인치 GaAs bulk-type 및 AlGaAs/GaAs 2DEG-type 에피 사용

- 전자이동도: 3,000 cm2/V?s 이상 권장



○ 소자 특성

- 제작 소자 특성



- Hall voltage, 입력/출력저항, 옵셋전압 특성
3. 공정순서

4. 공정 조건