| 스마트센서를 위한 벌크 실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼 개발
| 문서번호 | PLA02201705 | 작성일 | 2017. 06. 03. |
| 소속 | 서울대학교 | 담당자 | 장보배로 |
| 연락처 | 02-880-1730 | 이메일 | sbobaro@snu.ac.kr |
[ 공 정 규 격 서 ] |
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| 공정명 | 스마트센서를 위한 벌크 실리콘 SOLID NEMS 공정 플랫폼 개발 | 공정분류 | MEMS/NEMS 공정 |
| 1. 공정 목적 및 용도 | |||
| 벌크실리콘 SOLID NEMS 관성 센서 공정 플랫폼을 한국나노기술원 (KANC)에 구축함으로써 스마트 센서 제작 기술을 개발하는데 활용하기 위함 | |||
| 2. 공정 구조 및 특성 | |||
2. 공정 조건 3. 공정 결과물(사진)   |
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| 3. 공정순서 | |||
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| 4. 공정 조건 | |||
4. 공정 결과물 특성  |
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