| 스마트센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정플랫폼
| 문서번호 | PLA02201707 | 작성일 | 2018. 12. 13. |
| 소속 | 서울대학교 | 담당자 | 장보배로 |
| 연락처 | 02-880-1730 | 이메일 | sbobaro@snu.ac.kr |
[ 공 정 규 격 서 ] |
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| 공정명 | 스마트센서를 위한 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정플랫폼 | 공정분류 | 실리콘 나노와이어 공정 |
| 1. 공정 목적 및 용도 | |||
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확립된 벌크실리콘 SOLID NEMS 공정 프로세스 레시피를 활용하여 다양한 크기 및 모양을 가진 실리콘 나노와이어를 형성하기 위함 |
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| 2. 공정 구조 및 특성 | |||
 
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| 3. 공정순서 | |||
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| 4. 공정 조건 | |||
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