| 멤스멤브레인 공정플랫폼

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문서번호 SA2019012 작성일 2019. 11. 29.
소속 나노종합기술원 담당자 이병주
연락처 010-6483-2652 이메일 bjlee@nnfc.re.kr

[ 공 정 규 격 서 ]
공정명 멤스멤브레인 공정플랫폼 공정분류 모듈공정
1. 공정 목적 및 용도
나노 실리콘 기반 표면멤스소자 제작에 필요한 멤스멤브레인 구조체를 안정적으로 제작하기 위한 표준공정
2. 공정 구조 및 특성

○ 공정 구조


○ 공정 특성

- a-C 희생층이 제거되어 2um 높이를 갖는 빈공간 형성

- 200um 크기의 3x3 어레이 구조의 멤스멤브레인 칩 형성 완료
3. 공정순서

4. 공정 조건