| 단일광자검출센서용 저저항, 고신뢰성 Anode 전극 제작을 위한 표준공정 (Trench Type Anode 구조)

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문서번호	PLA03202006	작성일	2020. 5. 29.
소속	나노종합기술원	담당자	설우석
연락처	042-366-1605	이메일	wssul@nnfc.re.kr
[ 공 정 규 격 서 ]
공정명	단일광자검출센서용 저저항, 고신뢰성 Anode 전극 제작을 위한 표준공정 (Trench Type Anode 구조)	공정분류	소자/센서
1. 공정 목적 및 용도
○ 공정 목적 나노 실리콘기반 단일광자검출센서의 저저항, 고신뢰성 Trench-Type Anode 전극 제작을 위한 표준공정. Trench-Type Anode 전극은 복잡한 공정 및 높은 제작비용 등의 단점도 있으나, 낮은 저항 특성과 Wafer 앞면에 Anode 및 Cathode 전극이 동시에 형성 가능하여 Package에 용이한 장점이 있음.
2. 공정 구조 및 특성
○ 공정 결과물 ○ 공정 결과물 특성 - Construction Analysis : Trench-type Anode 전극 단면 분석 : Trench 관련 (Depth, Size, Slope Angle 등 Trench Profile, Silicon Damage 등), 전극 관련 (계면, Void, Sidewall Isolation 등) - Resistance Analysis : 소자 제작 후 Anode 전극 Resistance 분석
3. 공정순서
4. 공정 조건